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其它/PicoMaster ATE-150/其他 PicoMaster ATE-150 多功能紫外激光写入器
- 其它/PicoMaster ATE-150/其他 PicoMaster ATE-150 多功能紫外激光写入器
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详细资料:
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产品描述:
PicoMaster ATE-150 是一款具有超高精度组件的多功能紫外激光写入器,专为用户提供在感光层中创建最高自由度的微结构而设计。系统的光栅化工作原理,搭配上高速扫描以及可调螺距步进激光头,确保了整个曝光制程在感光层表面准确而稳定地完成。
特点:
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系统支持高达4095级的灰度、纯二进制模式:
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系统最大支持6英寸基版,200室米秒扫描速度,150x150室米曝光面积;
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系统连接到空气温度调节器机组开始供应空调空气时,内置堆式过滤器将产生干净的交叉气流;
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系统对准精度最高小于250纳米,线宽均匀性小于50纳米;
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系统采取全封闭结构设计,必需的部件、控制架构和真空泵都在外壳内,便于快速安装;
仪器保证:
我们的大多数设备在装运之前均经过严格的质量检测与校验。也可申请国家计量证书。