Agilent/10898A/安捷伦 10898A 双激光轴板

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详细资料：

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产品描述：

10898A 双通道激光轴板提供与  10897B 高分辨率激光轴板相同的分辨率，但转换速率更高，噪声更低。与以前的激光系统相比，更高的载物台速度限制和低噪声为 IC 制造设备等高级应用提供了卓越的定位可重复性和精度。与前代产品  10897B 一样， 10898A 采用高分辨率平面镜干涉仪，可提供 lambda/2048（0.3 nm）的测量分辨率

特点：

灵活的硬件 IO

多轴系统的 Ref 和 Meas 信号的简单可编程路由

36 位、2 位补码硬件位置输出 @ 10 MHz

本质上是一块 6U 板上的两个增强型 10897C 轴。

仪器保证：

我们的大多数设备在装运之前均经过严格的质量检测与校验。也可申请国家计量证书。