Agilent/HP/B1500A/半导体器件分析仪

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详细资料：

B1500A 半导体器件分析仪

特点和好处

• 较高的IV测试性能：0.1fA/0.5uV测量分辨率。
• 支持到5MHZ的CV测试的CMU。
• EasyEXPERT软件提供创新的、面向任务的参数测试
• CV-IV开关选件可以达到0.5uV的电压测试分辨率和10 fA，1 fA或0.1 fA电流测试分辨率
• 用内置的半自动晶圆探针驱动和测试序列容易测试自动化
• 10ns的脉冲IV解决方案可以表征高K介质和SOI晶体管。
• 经典的测试模式又类似于4155/4156的界面，体现了Microsoft Windows GUI的特点。

模块选择指导

模块	HPSMU (B1510A)	MPSMU (B1511A)	HRSMU (B1517A)	ASU (E5288A)	MFCMU (B1520A)
占用插槽	2	1	1	NA	1
最大激励电压	200 V	100 V	100 V	100 V	NA
最大激励电流	1 A	100 mA	100 mA	100 mA	NA
电压测量分辨率	2 µV	0.5 µV	0.5 µV	0.5 µV	NA
电流测量分辨率	10 fA	10 fA	1 fA	100 aA	NA
最小/ 最大电容测量频率	NA	NA	NA	NA	1 kHz to 5 MHz
最大电容测量DC偏置能力	NA	NA	NA	NA	100 V

仪器保证：

我们的大多数设备在装运之前均经过严格的质量检测与校验。也可申请国家计量证书。