基本特点
• 基于 PC 的仪器，带触摸屏界面;可选的 USB 键盘和鼠标•
EasyEXPERT 软件，仪器提供 200 多种分类应用测试
• 执行电流与电压 （IV） 测量
• 执行电容与电压 （CV）、电容与时间 （Ct） 和电容与频率 （Cf） 的测量
• 执行准静态 CV （QSCV） 测量
• 具有 ALWG 和电压监控功能，最高可达 40 V。
• 执行与应用波形同步的快速 IV 测量，以实现精确的瞬态 IV 或时域测量
• 支持前面板经典测试测量模式：单通道扫描、多通道扫描、时间采样、列表扫描、CV 扫描和直接控制 （GPIB FLEX）
• 基于 GUI 的 Agilent B2200A 和 B2201A 开关矩阵控制
• 模块化主机，具有 10 个模块插槽和 1 个 4.2 A 接地单元
• 提供多种源/监控单元 （SMU） 类型：中等功率 （MPSMU）、高功率 （HPSMU） 和高分辨率 （HRSMU）
• 提供
多频电容测量单元 （MFCMU）• 提供
高压半导体脉冲发生器单元 （HV-SPGU）• 提供
波形发生器/快速测量单元 （WGFMU）• 高分辨率模数转换器 （ADC） 可用于所有已安装的
SMU• 每个已安装的 SMU
上都有高速 ADC• 在传感器和开关单元 （ASU）
上支持 SMU/AUX 路径切换• 使用 SMU CMU 统一单元 （SCUU） 和保护开关单元 （GSWU） 支持 SMU/MFCMU 切换•
MFCMU 自动识别电容测量附件
• 遥感和开关单元 （RSU）
支持 WGFMU/SMU 路径切换• 用于仪器控制的
GPIB 端口• 自检、自校准、诊断