其它/DWL66+/求购|Heidelberg DWL66+ 激光刻录机

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详细资料：

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描述：

全自动 DWL 66+ 激光写入系统位于环境室内，通过受控的层流气流和温度稳定性为系统提供稳定的环境。该腔室位于花岗岩底座上，带有用于隔振的气垫。该光学系统包括高反射镜和声光调制器，用于实时光束校正。半导体激光管为 405 nm。有两种写入模式可供选择：写入模式 I（最小特征尺寸为 0.6 um）和写入模式 III（最小特征尺寸为 1.0um）。

规格：

• 最大基板尺寸为 9 英寸 x 9 英寸

• 最小基板尺寸 10x10mm2

• 最大写入区域为 200x 200 mm2

• 基板厚度可达 6 毫米

• 干涉仪分辨率 10 nm

• 最小特征尺寸为 0.6 um（写入模式 I）和 1 um（写入模式 III）。

• 多种数据输入格式（DXF、CIF、GDSII 和 Gerber 文件）

• 具有宏观和微观自动对准和测量功能的相机系统

仪器保证：

我们的大多数设备在装运之前均经过严格的质量检测与校验。也可申请国家计量证书。