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半导体参数分析仪
Agilent/4155C+41501B/销售、租赁|半导体参数分析仪+SMU 和脉冲发生器扩展器单元
- Agilent/4155C+41501B/销售、租赁|半导体参数分析仪+SMU 和脉冲发生器扩展器单元
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详细资料:
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产品描述
Agilent 4155C 半导体参数分析仪搭配 41501B SMU 扩展器,在单台主机内提供 8 路高精度 SMU 与 2 路 VSU/VIU,0.1 fA-1 A / 0.5 µV-200 V 全量程覆盖,适用于 CMOS、GaN、SiC 晶圆级直流特性、可靠性 WLR 与 TFT/LCD 阵列测试。
主要特点
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分辨率:0.1 fA / 0.5 µV 最小量程,20 bit ADC,pA 级栅漏电与 µV 级阈值漂移一次解析
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电压/电流范围:±200 V / ±1 A 脉冲,直流 ±100 V / ±100 mA,脉冲宽度 500 µs-1 s,占空比自适应保护 DUT
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扩展能力:41501B 提供 4 额外 SMU 与 2 路 VSU/VIU,整机 8 SMU+2 VSU,多端口晶体管、CMOS 环形振荡器一次完成
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精度:电压 0.02 %,电流 0.03 %,6 线开尔文远程 Sense,消除探针与线缆压降,1 mΩ 导通电阻可重复测
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扫描速度:1 ms/点高速采样,I-V、C-V、Q-V、击穿、电荷泵等 15 种预置扫描模板,自动梯度提取 Vth、Gm、Rds-on
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脉冲模式:±200 V 脉冲,最小 500 µs 脉宽,避免自热,GaN HEMT 动态 Rds-on 测试与陷阱效应分离
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软件平台:EasyEXPERT+ 图形化测试库 500+,支持 Python/PPL 脚本,数据直接导出 CSV、SPICE 模型参数
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保护机制:Smart-SMU 过压/过流/过温可编程,自动降级限幅,50 µs 硬件切断,保证超薄栅氧与纳米器件安全
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仪器保证:
我们的大多数设备在装运之前均经过严格的质量检测与校验。也可申请国家计量证书。