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KEITHLEY/4215-CVU/吉时利(Keithley)4215-CVU高分辨率电容电压单元
详细资料:产品简介:
吉时利 4215-CVU 是专为 4200A-SCS 半导体参数分析仪设计的高分辨率电容电压单元,是半导体器件与材料 C-V 特性表征的专业模块。它支持 1kHz~10MHz 宽频多频点扫描,电容测量分辨率低至亚 fA 级,可精准捕捉 MOS 电容、薄膜介质等微小电容变化。模块采用独立四端测量架构,有效消除引线阻抗与寄生电容干扰,保障测试结果的准确性与稳定性。广泛应用于 MOSFET 器件分析、介质漏电测试、半导体工艺验证及纳米材料介电性能研究,是高端半导体研发与生产质控的核心工具。
产品特点:超高分辨率测试:支持亚 fA 级电容测量,相比标准版大幅提升弱信号捕捉能力,可精准表征微弱电容变化。宽频多频点扫描:1kHz~10MHz 频率范围,支持上万频点连续扫描,满足器件在不同频率下的电容特性分析需求。 四端低干扰设计:配备 HCUR/HPOT/LCUR/LPOT 独立接口,有效消除引线阻抗与寄生电容影响,提升测试精度。 系统无缝集成:模块化适配 4200A-SCS 主机,可与 SMU 模块协同工作,实现 I-V 与 C-V 特性一站式测试。 专业软件支持:搭配 Clarius + 软件,提供丰富测试模板与数据分析工具,简化复杂测试流程,适配多种半导体测试场景。
仪器保证:我们的大多数设备在装运之前均经过严格的质量检测与校验。也可申请国家计量证书。 |
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