F-712.HA1 是德国 PI 推出的六自由度单面光纤自动对准系统，搭载 H-811 六足位移台与 P-616 纳米压电扫描模块，兼顾大范围粗调与纳米级精细耦合。设备采用并联刚性结构，闭环定位分辨率可达 2.5nm，内置专用梯度扫描算法，10μm 扫描区域内多光纤自动对准耗时低于 0.2 秒，耦合重复损耗波动小于 0.01dB。全轴搭载位置编码器，可自动防撞保护硅光晶圆、PIC 光子芯片等精密器件，适配硅光子探针测试、光器件封装、阵列光纤耦合场景，配套完整开发软件，兼容 LabVIEW、Python、MATLAB，可快速接入自动化产线与实验室测试平台。

产品核心特点

6 自由度一体化复合运动

六足平台完成 XYZ 直线与三轴角度大范围粗调，压电 NanoCube 负责纳米级快速扫描，线性行程 X±6.5mm、Y±16mm、Z±8.5mm，角度覆盖 ±14.5°/±10°/±10°，适配各类异形光子器件对准需求。

超高速自动耦合算法

控制器内置螺旋扫描、并行梯度寻优程序，单通道 / 阵列光纤同步优化，小范围扫描 0.2 秒完成，大幅缩短硅光晶圆批量测试周期，提升产线吞吐量。

纳米级超高定位精度

压电陶瓷采用全陶瓷绝缘 PICMA® 促动器，闭环最小增量 2.5nm，双向重复定位 2nm，长期运行温漂可动态补偿，保障耦合损耗一致性。