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Keysight/10898D/用于VME的2轴高分辨率激光轴板
- Keysight/10898D/用于VME的2轴高分辨率激光轴板
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详细资料:
主要特性与技术指标
一般
每板的轴数:2
每个系统的最大板数:7(对于较大的板组,请参考键盘)
36位2的补码
高分辨率光学分辨率高达0.3 nm
最大线性干涉仪速度(必须使用E1709A接收机):2.2 m / s
使用平面镜光学元件
分辨率:0.6nm
工作范围:±10.6 m
定时
位置更新速率:10 MHz
背板数据速率:> 100 kHz
多板同步:±2 ns
特殊功能
灵活的硬件IO
用于多轴系统的简化和可编程的Ref和Meas信号路由
在一个6U板上基本上两个增强型10897D轴
描述
10898D 2轴高分辨率激光轴板提供与Keysight 10897D高分辨率激光轴板相同的分辨率,具有更高的压摆率和降低的噪声。与先前的激光系统相比,增加的级速度限制和低噪声为诸如IC制造设备的高级应用提供了优异的定位重复性和精度。
仪器保证:
我们的大多数设备在装运之前均经过严格的质量检测与校验。也可申请国家计量证书。