• 光束

       • 尺寸： 6 mm（0.24 英寸）

       • 分离： 11 mm（0.43 英寸）

• 分辨率

       • 基本光学： λ/2（316.5 nm，12.5 µin）

       • 系统分辨率：

       - λ/64（10 nm，0.4 µin），以 32x 电子分辨率扩展为基础
       - λ/512（1.2 nm，0.047 µin），以 256x 电子分辨率扩展为基础

• 重量： 312 克（11 盎司）
• 反射镜： 10767A
• 所用底座： 10785A

Keysight 10766A 线性干涉仪适用于一般的单轴测量；可运用在干涉仪作为运动部件的情况（而不是测量反射镜）。 它拥有坚固、耐热的不锈钢外罩。

10766A 在光学结构上与 10702A 选件 001 相同，但是拥有更坚固的外罩和公制螺纹。

10766A 可把 10767A 线性反射镜作为参考反射镜使用。 为完成线性光纤套件的测量，要求使用 10703A。 干涉仪无法使光束转向， 但可作为运动部件（无需修改）。

差分操作要求移除 10767A 线性反射镜，并将其放置在感兴趣的参考面。