Keysight 10721A 双轴差分干涉仪用于多轴测量应用时可同时执行两个差分测量－－线性和角（偏航）位移。 两种测量都以安装在支柱或检测工具等目标上的外部反射镜作为参考。 10721A 能够在很大程度上避免无效干涉仪位移（例如热膨胀）的干扰。 它是一种模块化的紧凑型设计，采用单片光学器件制成，可达到最大的机械稳定度。 它使用较小的 3 mm 光束，有助于降低 Abbé 偏置误差。 10721A 与 10719A 单轴差分干涉仪非常相似，差异就在于它提供了额外的测量轴。

10721A 包括一个剪切板，用于创建平行光束路径；两个逆向反射镜，用于操纵光束路径；以及两个 1/4 波片。

用户必须提供参考反射镜和测量反射镜。

参见用于单轴差分测量的 10719A。

• 应用： 2 种差分线性或 2 种角测量
• 迥然不同的新特性： 双轴，差分
• 轴数： 2
• 最大光束直径： 3 mm
• 光束隔离： 参见技术指标
• 重量： 300 g（10.6 盎司）
• 基本光分辨率： λ/4（158.2 nm，6.2 µin），2.56 弧秒（12.4 µrad）
• 系统分辨率： λ/128（5 nm，0.2 µin）， 0.08 弧秒（0.39 µrad），使用 32 倍电子分辨率扩展
• 系统分辨率： λ/1024（0.62 nm，0.024 µin）， 0.01 弧秒（0.05 µrad），使用 256 倍电子分辨率扩展
• 反射镜： 定制
• 使用的安装架座： 定制
• 参考： 支持
• 可调谐配置： 无