Keysight 10736A 三轴干涉仪可用于需要线性和角度控制的多轴测量应用。 它在单一套件中结合了光具座功能、多个光束转向镜、分光镜以及三个干涉仪。 干涉仪把入射激光束分成三个光束，以便测量直线距离、倾斜和偏转或直线距离、摇摆和偏转。 三种线性测量可为两种角度测量提供基础。 固有的光束平行度确保三种测量基本上不存在余弦误差，同时保证倾斜和偏转测量的转角精度。 其它特征包括：

• 高性能包装可节省设置时间，改善系统性能
• 简单的多轴安装
• 较高的角分辨率可实现更好的控制
• 宽角度范围
• 单片光器件可提供最高的机械稳定性
• 预对准的光纤远程接收机支架
• 参考光器件

10736A 包含 2 个剪切板，可创建 3 条平行光束路径、3 个角锥棱镜、1 个参考平面镜以及 2 个 1/4 波片。

10736A 选件 001 可将测量轴的方向转折。

除了测量光束图形之外，10736A 和 10735A 完全相同。

• 应用： 3 种线性平面镜测量（沿 X 轴位移，沿 Z 轴偏转，沿 Y 轴倾斜）
• 特点： 1 种线性平面镜测量和 2 种角度平面镜测量
• 轴数： 3
• 最大光束尺寸： 9 mm
• 波束分离： 参见技术指标
• 重量： 5.5 千克（12 磅 2.4 盎司）
• 基本光学分辨率： λ/4（158.2 nm，6.2 µin）
• 系统分辨率： 位移 λ/128（5 nm，0.2 µin），偏转 0.039 arcsec（0.19 µrad），倾斜 0.049 arcsec（0.24 µrad），以 32x 电子分辨率扩展为基础
• 系统分辨率： 位移 λ/1024（0.62 nm，0.024 µin），偏转 0.0049 arcsec（0.024 µrad），倾斜 0.0061 arcsec（0.029 µrad），以 256x 电子分辨率扩展为基础
• 系统分辨率： 位移 λ/4096（0.15 nm，0.006 µin），偏转 0.0012 arcsec（0.006 µrad），倾斜 0.0015 arcsec（0.007 µrad），以 1024x 电子分辨率扩展为基础
• 反射镜： 10728A
• 所用底座： 定制
• 参考： 支持
• 可调谐配置： 支持。 要求使用选件 001