Keysight 10719A 单轴差分干涉仪可用于单轴和多轴测量应用，以执行差分线性或差分角度测量。 该线性测量将会测量两个对象之间的位移，例如工作台和光柱（optical column）或检测工具。 10719A 还可测量倾斜（pitch）或横滚（roll）。 当参考光束和测量光束测量到相同平面镜时，测量结果为一个角度。 10721A 能够在很大程度上避免无效干涉仪位移（例如热膨胀）的干扰。 它是一种模块化的紧凑型设计，采用单片光学器件制成，可达到最大的机械稳定度。 它使用较小的 3 mm 光束，有助于降低 Abbé 偏置误差。

10719A 包括一个剪切板，用于创建平行光束路径；一个逆向反射镜，用于操纵光束路径；以及两个 1/4 波片。

对于线性测量，用户必须提供参考平面镜和测量平面镜。

对于角位移测量，用户必须提供一个平面镜，用于反射参考光束和测量光束。

参见用于双轴差分测量的 10721A。

• 应用： 1 种差分线性或 1 种角测量
• 迥然不同的新特性： 差分输出
• 轴数： 1
• 最大光束直径： 3 mm
• 光束隔离： 19.05 mm（0.75 英寸）
• 重量： 300 g（10.6 盎司）
• 基本光分辨率： λ/4（158.2 nm，6.2 µin），1.71 弧秒（8.3 µrad）
• 系统分辨率： λ/128（5 nm，0.2 µin），0.054 弧秒（0.26 µrad），使用 32 倍电子分辨率扩展
• 系统分辨率： λ/1024（0.62 nm，0.024 µin），0.007 弧秒（0.03 µrad），使用 256 倍电子分辨率扩展
• 反射镜： 定制
• 使用的安装架座： 定制
• 参考： 支持
• 可调谐配置： 无