Keysight 10737L 紧凑型左旋三轴干涉仪可提高精密仪器的定位精度。 它支持在单轴上进行多达三种测量（位移、倾斜和偏转）。 其多轴激光器测量功能可对多轴台进行精密控制。 它能够测量与控制每个线性和转角自由度，以便补偿多轴台移动时的机械缺陷。 与 10735A 和 10736A 干涉仪的功能类似，10737R 提供紧凑型、低成本包装。 固有的光束平行度确保三种测量基本上不存在余弦误差，同时保证倾斜和偏转测量的转角精度。 其它特征包括：

• 简单的多轴安装和对准
• 快速连接至远程接收机拾取
• 紧凑型、低成本包装
• 把测量光束向左转向

10737L 与 10737R 基本相同，除了“L”表示把测量光束向左转向、“R”表示把光束向右转向（从入射光束处观察）之外。

• 应用： 3 种线性平面镜测量（沿 X 轴位移，沿 Z 轴偏转，沿 Y 轴倾斜）
• 特点： 紧凑型、低成本的 3 轴测量（线性、倾斜和偏转）
• 轴数： 3
• 最大光束尺寸： 3 mm
• 波束分离： 参见技术指标
• 重量： 490 克（1 磅 1.3 盎司）
• 基本光学分辨率： λ/4（158.2 nm，6.2 µin）
• 系统分辨率： 位移 λ/128（5 nm，0.2 µin），偏转 0.07 arcsec（0.35 µrad），倾斜 0.14 arcsec（0.7 µrad），以 32x 电子分辨率扩展为基础
• 系统分辨率： 位移 λ/1024（0.62 nm，0.024 µin），偏转 0.01 arcsec（0.04 µrad），倾斜 0.02 arcsec（0.1 µrad），以 256x 电子分辨率扩展为基础
• 反射镜： 平面镜或角锥棱镜
• 所用底座： 10711A
• 参考： 无
• 可调谐配置： 支持